微振動(dòng)監(jiān)測(cè)是一種用于檢測(cè)和分析微小振動(dòng)現(xiàn)象的技術(shù)手段。

評(píng)判標(biāo)準(zhǔn)：GB 51076-2015 《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》，即VC曲線(xiàn)

應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 光刻機(jī)晶圓臺(tái)亞納米級(jí)振動(dòng)控制

2. 刻蝕機(jī)/薄膜沉積設(shè)備共振抑制

3. 封裝測(cè)試線(xiàn)鍵合機(jī)微位移監(jiān)測(cè)

4. 激光干涉儀/電子顯微鏡防振臺(tái)效能驗(yàn)證

5. 天文望遠(yuǎn)鏡鏡面形變實(shí)時(shí)補(bǔ)償

6. 極紫外（EUV）光刻光學(xué)系統(tǒng)振動(dòng)隔離

7. 冷凍電鏡樣品臺(tái)超低溫環(huán)境振動(dòng)監(jiān)測(cè)

8. 基因測(cè)序儀光學(xué)模塊微振溯源

9. 無(wú)菌車(chē)間精密分析儀器穩(wěn)定性保障

10. 燃料電池質(zhì)子交換膜裝配微振控制

11. 冷原子鐘磁光阱平臺(tái)地脈動(dòng)監(jiān)測(cè)

12. 引力波探測(cè)裝置低頻振動(dòng)補(bǔ)償

13. 古建筑群地鐵振動(dòng)傳播路徑監(jiān)測(cè)

13. 博物館珍貴文物展柜微環(huán)境振動(dòng)控制

14. 石窟巖體結(jié)構(gòu)毫米/年級(jí)形變追蹤

15. 海底光纜著陸點(diǎn)地殼微振動(dòng)預(yù)警

實(shí)時(shí)波形與1/3倍頻程曲線(xiàn)實(shí)施展示